PVD真空镀膜原理是什么

目前常用的PVD有三种：真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀；它们的工作原理如下：1、真镀空膜：是在适当的压强下用电子束等热源加热材料使之蒸发，蒸发的原子或分子直接在工件...